آزمایشگاه تحقیقاتی افزاره‌های میکرو و نانو الکترونیک

Micro and Nano Electronic Device Research Lab.

سرپرست آزمایشگاه: دکتر بهرام عزیزاله گنجی

زمینه‌های تحقیقاتی:

- ساخت انواع سنسور ها

- ساخت انواع ادوات میکروالکترومکانیکی(MEMS) و نانوالکترومکانیکی(NEMS)

تعداد دانشجویان  فعال:

کارشناسی ارشد: -

دکتری: 3 نفر

دستاوردها:

- انجام لیتوگرافی با دقت بالا

- لایه نشانی پوشش سرامیکی به روش اسپارتینگ

- لایه نشانی پوشش های فلزی مانند آلومینیوم به روش evaporation

خدمات قابل ارائه به پژوهشگران:

- لیتوگرافی

- لایه نشانی پوشش های مختلف فلزی به روش تبخیر

- لایه نشانی پوشش های مختلف سرامیکی به روش اسپاترینگ

اطلاعات تماس: 

E-mail: baganji@nit.ac.ir